摘要：设计了一种基于柔性衬底和柔性压敏材料的压力传感器阵列。该4×4的柔性阵列采用光刻工艺制备，尺寸为2.5×2.5cm²，衬底是PET-ITO柔性基板，压敏材料为导电橡胶(CSA57-7RSC PCR Technical)。设计了针对该阵列的信号处理电路，该电路将压敏橡胶的电阻值转变为电信号，并完成信号的选择，A/D转换以及最后经USB转给PC机等功能，以判断传感阵列感知到的力的大小和方位。该微型阵列可用于机器人仿生手等领域。

关键词：PET-ITO；柔性；压力传感器；阵列；信号处理