摘要：  设计了一种基于柔性衬底和柔性压敏材料的压力传感器阵列。该4*4的柔性阵列采用光刻工艺制备，尺寸为2.5*2.5cm2，衬底是PET-ITO柔性基板，压敏材料为导电橡胶(CSA57-7RSC PCR Technical)。实验证明，该全柔性压力传感阵列在0-10N的负载下呈现负压阻效应，具有高灵敏度和快的响应恢复特性，能准确测知所感应到的力的大小和方位。该微型阵列可用于机器人仿生手的领域。

关键词：  PET-ITO；全柔性；压力传感器；阵列