【摘要】 研究了硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性,发现Sb⁵⁺金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性,本文对这类元件的频率特性、湿滞特性、响应-恢复时间、复阻抗以及稳定性进行了测试,并对其敏感机理和稳定性原理进行了探讨。