新型温-湿一体化敏感元件的研究

作者: 张彤 ,林洪 ,陈丽华 ,孙良彦 ,
期刊: 传感器技术
卷号: 1999,18,29-31
接收日期: 1999-02-01 19:27:42
摘要 Abstract

【摘要】 报道了一种新型温敏和湿敏元件共享一块陶瓷衬底的传感器结构,温度传感器采用半导体氧化物 N T C 材料的厚膜结构,湿度传感器采用高分子电阻型结构,从而实现了温湿一体化。这种传感器不但给温度和湿度的同时测量带来方便,而且使得湿敏元件的温度补偿更为准确,并且具有体积小、价格廉、易于集成、使用方便等特点。 

【关键词】  温度; 湿度; 一体化; 敏感元件;