【摘要】 用模板法合成了介孔二氧化硅SBA-15,为了改善其湿敏特性进行了金属盐掺杂。通过扫描电子显微镜(SEM)和XRD对纯质介二氧化硅SBA-15以及不用金属盐掺杂材料的形貌和结构进行了表征。在11%RH到95%RH的范围内研究了纯SBA-15和不同金属盐掺杂SBA-15材料的湿敏特性。结果表明:适量的金属盐掺杂能很好的提高了介孔硅SBA-15材料的湿敏特性。不同金属盐掺杂SBA-15材料的响应恢复时间也比较迅速,响应时间都在60 s以内,而恢复时间都在180 s以内,能够满足湿度传感器的应用需要。