【摘要】 利用金属铂的热阻、热敏特性 ,以及 Si O2 和 Si Nx 良好的绝热、绝缘特性 ,设计一种以铂丝为加热层 ,叉指状的金电极为敏感膜信号电极 ,Si O2 和 Si Nx 为隔热和电绝缘层的硅基微热板结构气敏元件 .并利用有限元分析工具 ANSYS,对所设计的硅基微结构气敏元件的加热器进行了稳态过程和瞬态过程的模拟和分析 ,得到了元件表面的稳态热场分布和瞬态响应的分析结果 .