基于硫化物系的湿敏元件的研究

作者: 赵志勇 ,张彤 ,任辉 ,徐宝琨 ,徐娓 ,陈宏起 ,全宝富 ,
期刊: 传感器技术
卷号: 2001,20,10-13
接收日期: 2001-01-01 19:33:30
摘要 Abstract

【摘要】 研究了Zn、Cd、Sb等系列硫化物薄膜湿敏元件的感湿特性 ,发现金属硫化物元件具有较好的湿敏特性和稳定性 ,对元件的频率特性、湿滞特性、响应 -恢复时间、阻抗、以及稳定性进行了测试 ,并对其敏感机理进行了探讨

【关键词】  硫化物； 湿敏元件； 阻抗； 
【文内图片】
【基金】 国家自然科学基金资助项目! (6 99740 2 0 );吉林省科委资助项目